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ATS 500設(shè)計用于OLED、有機電子應(yīng)用、光伏、半導(dǎo)體器件、透鏡和光學(xué)濾波器的研發(fā)和小批量生產(chǎn)。

系統(tǒng)特色是配有全彩觸摸屏的PLC，集成了工藝菜單控制和數(shù)據(jù)記錄功能，可以選配全電腦控制。

ATS 500提供廣泛的工藝選項，包括：

• 熱阻蒸發(fā)源。
• 溫度控制蒸發(fā)源，用于OLED和有機光伏應(yīng)用。
• 電子束蒸發(fā)源，用于高速率蒸發(fā)。
• 離子束輔助，用于光學(xué)應(yīng)用或者基板清洗。
• DC、RF和脈沖DC源，用于金屬和電解質(zhì)向上或者向下的濺射工藝。
• 以上兩
  個或者多個功能的混合系統(tǒng)

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